日本电子扫描电镜JSM-6510A/ JSM-6510LA型的规格
保证分辨率 |
3.0nm(30kV) |
放大倍数 |
5至300,000x |
加速电压 |
0.5kV至30kV |
电子枪 |
工厂预对中灯丝 |
聚光镜 |
变焦聚光镜 |
物镜 |
锥形物镜 |
样品台 |
全对中样品台 |
X-Y |
80mm-40mm |
Z |
5mm至48mm |
旋转 |
360° |
倾斜 |
-10°至+90° |
排气系统 |
DPx1,RPx1 |
排气系统 |
DPx1,RPx2 |
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