分辨率
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高真空模式 4.0nm (20kV), 低真空模式 5.0nm (20kV), |
放大倍率
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8到300,000倍 |
加速电压
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0.5kV~20kV |
样品台
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大型全对中样品台 (五轴手动X, Y, Z, R, T) X:80mm, Y:40mm, Z:5mm~48mm T:-10°~ + 90°, R:360° |
至大样品尺寸
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直径150mm, 高度48mm |
检测 器
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二次电子检测 器、背散射检测 器、(成份像、形貌像、立体像)、EDS检测 器(SDD) *JSM-6010LA有低真空二次电子检测 器为选购 |
画像显示
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标准图像、双实时图像、分立实时图像、画中画模式、数字放大、双放大倍数 |
EDS元素分析
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定性分析、定量分析、彩色面分析、电子束追踪、检测元素范围:B~U |
自动功能
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自动聚焦、自动衬度/亮度、自动消像散、自动灯丝饱和、自动对中、自动电子枪偏压。 |
真空排气装置
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涡轮分子泵(TMP)、机械泵(RP) |
网络
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以太网、无线LAN(选配件) |