扫描电子显微镜JSM-6701F是一台场发射扫描电子显微镜(FESEM)，采用冷阴极场发射枪、超 高真空和精 密的数字技术，可进行显微结构的高分辨率、高质量成像。本系统装配锥形场发射枪和semi-in-lens物镜，可以在任何扫描速度下进行高分辨率的成像以及高质量的实时图像显示，使您即使在明亮的房间里也可观察和记录清晰的图像。JSM-6701F可以处理直径至 大为8英寸的样品。

扫描电子显微镜JSM-6701F主要特点
1.冷场发射电子枪：10-8Pa order pressure in Gun
2.气锁式样品交换、全对中大样品台
3.全自动聚焦、消像散、合轴、控制扫描速度
4.样品台标配三轴马达却动，可选四、五轴马达驱动
5.半漏磁

扫描电子显微镜JSM-6701F技术参数
1.分辨率：1.0nm(15kV)/2.2nm(1kV)
2.加速电压：0.5KV-30kV
3.放大倍数：25-650K
4.样品室尺寸：至 大200mm直径样品
5.束流强度：10-13到2X10-9