热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F
- 产品编号: 热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F
- 产品型号: JSM-7600F
- 所属类别: JEOL扫描电镜
- 所属品牌: 日本电子
- 所属用途: 其它用途
- 应用领域: 其它用途
- 产品特性:
- 超 高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F是日本电子株式会社20
超 高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F主要特点
1.主动式减震器
2.磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护
3.标配的五轴马达驱动全对中样品台
4.全自动样品更换气锁
5.全自动样品监控系统
6.全自动物镜光阑
7.多通道显示系统
8.减速系统标准配置
9.能 量过滤器标准配置
10.可以选配1.5nm高分辨LABE背散射电子探 头
11.可以选配扫描投射探 头（STEM）
超 高分辨热场发射扫描电子显微镜JSM-7600F技术参数
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SEI 分辨率 |
1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV） |
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放大倍数 |
25 到 1,000,000x |
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加速电压 |
0.1 到 30 kV |
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束流 |
1 pA 到 200 nA（15 kV时） |
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光阑角控制镜 |
内置 |
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探测器 |
上方和下方探测器 |
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能 量过滤器 |
新型γ过滤器 |
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柔和光束 |
内置 |
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数字图像 |
1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840 |
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样品交换室 |
单步加载/卸载 |
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样品台 |
全对中，5轴马达驱动 |
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真空系统 |
2 SIPs，磁悬浮轴承 TMP、RP |
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节能设计 |
正常运行：1.2 kVA |
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