台式扫描电子显微镜日本电子JCM-6000Plus。除了电子枪合轴,聚焦,消象散,衬度/亮度调节这些分别独 立的自动功能外,还具有全自动功能,只需轻触按钮就能开始成像过程,显示当前的图像.
只需轻触一下就可以切换高真空 / 低真空模式能观察多种样品。
高真空模式 二次电子像
高真空模式下能通过二次电子像和背散射电子像进行观察。能观察二次电子像中精细的表面结构,在高倍率下观察也比较容易。
高真空模式 背散射电子像
由于采用了半导体背散射电子检测 器,因而能检测出成份像、形貌像和阴影像这三种信息,结合二次电子还可获得多种信息。
低真空模式
利用 JCM-6000Plus 标配的低真空模式,可提高样品室内的压力,中和样品表面的电荷,能直接观察不导电样品。
观察含有少量油分或水分的样品以及释放气体、不易镀膜的样品也非常方便。
双帧显示
能并列显示实时图像和保存的图像,在下面的实例中,右侧显示低倍率图像及光学显微镜图像,在左侧利用实时图像对放大的图像进行确认,这样就能对当前的图像和保存的图像一边比较一边观察。
动态观察
JCM-6000Plus 能拍摄视 频,因而可以进行动态观察。很适合观察样品随时间的推移而发生的变化。
测长
JCM-6000Plus 具有测量两点间距离的功能,选择 Scaler 按钮后,自动按钮会切换到测长按钮,测量结果能保存在图像和csv 数据文件中。
EDS 按下装置的分析按钮,就能开启 EDS 视窗。EDS 能支持定性/定量分析、点分析和元素面分析(确认元素分布)。
定性 / 定量分析
用 Image(图像)+ SPC(采集)两个按钮开始分析。数据采集结束后按下定量按钮,就会显示定量结果。
元素面分析(元素分布)
按下 Map 按钮后,图像的元素面分析开始。元素面分布结果会显示组成元素的二维分布。
援助复杂分析
Analytical Assistance(分析援助)功能可使元素面分布和线分析更加容易。
在 Analytical Assistance 视窗中选择感兴趣的分析后,所需作业步骤会按顺序显示出来。只需按照视窗中指示按钮的引导,任何复杂的分析都能够顺利地完成。
点分析
在图像上设定多个分析点后,系统会按顺序自动分析各点上的元素并显示谱图。
分析结束后还能比较这些谱图数据。
线分析
在图像上测试的线上的元素含量的变化。
测试结束后还能改变元素。
探针追踪
进行长时间分析时,能保持分析位置的稳定。