EVO MA 25用于材料领域,LS 25用于生命科学领域。该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计,提供高低真空成像功能,可对各种材料表面作分析,并且具有X射线分析技术。革 命性的Beamsleeve的设计,确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像,同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的高 效率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无 污染(免维护)成像分析。
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
▪ 大的样品高度可达210mm
▪ 大样品重量5Kg
▪ 大的样品直径300mm
▪ 能在可变压力下操作
▪ 高亮度LaB6资源选择
▪ 光线套选择
▪ 分辨率:3.0nm@ 30KV(SE and W)
4.0nm@ 30KV(VP with BSD)
▪ 加速电压:0.2—30KV
▪ 放大倍数:5—1000000x
▪ 探针电流:0.5PA-5μA
▪ X-射线分析工作距离:8.5mm 35度接收角
▪ 低真空压力范围:10—400Pa (LS25:10-3000Pa)
▪ 工作室:420mm(φ)×330mm(h)
▪ 5轴试样载物台:X=130mm Y=130mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360°
▪ 大试样高度:210mm,试样 大直径:300mm
▪ 系统控制:基于Windows 7 的SmartSEM操作系统