Verios XHR SEM

        Verios 是 FEI 的 XHR（高分辨率）SEM 系列的第 二代产品。在尖 端半导体制造和材料科学应用中，它可在 1 至 30 kV 范围内提供亚纳 米量级分辨率以及增强的对比度，满足材料精 密测量所需，同时又不会削弱传统扫描电子显微镜 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、样本灵活 性和易用性等优势。

        Verios 的材料科学应用

        对材料科学家来说，Verios 可以将亚纳 米表征拓展到当下正在开发的全新材料（例如催化剂颗粒、纳 米管、孔隙、界面、生物对象和其他纳 米量级结构），从而让他们获得重要的新发现。无需转而采用 TEM 或其他成像技术便可获得高分辨率、高对比度图像。Verios 可灵活用于各类研究应用，能够容纳全尺寸晶圆或冶金样本之类的大样本。您可以在高电流模式下执行快速分析，也可以开展精 确的原型设计应用，例如电子束感应式材料直接沉积或光刻。

        体验 Verios XHR SEM 带来的优势：

        快速收集完整的纳 米量级信息：Elstar 独特的四倍 SE/BSE 检测提供地形和材料对比度；FEI 独特的多重分区 STEM 技术提供结构对比度；
        使用 Elstar 精 确的静电射束偏转和高 级校准方法获得远超普通 SEM 的准确度量；
        体验快速精 确的样品管理：可适应大样品、可控地清洁样品表面、以非常低的放大倍率快速检查并导航到兴趣区域；
        使用电子束光刻、电子束感应式材料直接沉积执行创新而精 确的纳 米制备，并检查以自上而下或倾斜位置创建的三维结构；
        发现一个优化的平台，既为临时用户提供了简单强大的界面，又为 SEM 专家提供所需的仪器灵活 性和延展控制力，可为特定实验精 确调整仪器。