VEGA II SBH钨灯丝扫描电子显微镜（高真空操作，小样品室，3轴马达载台，中文操作软件）

完全由计算机控制的钨灯丝电子显微镜，突出的光学特性，清晰的数字化图象。设备具有相当多的突出特性和成熟的电子显微镜控制软件，该软件使用了Windows?平台，可获取图片，并以标准的格式存储图象，强化的图象归档，处理和测量，显微镜的自动设置和其它许多自动功能。国内唯 一可使用中文操作软件的电镜厂商。

VEGA II SBH钨灯丝扫描电子显微镜的特点：

▪ 独 有的四透镜大视野观察（Wide Field Optics™）设计，该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了Tescan特 有可优化电子束光阑的中间镜设计。

▪ 成像速度快。

▪ 镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。

▪ 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同“光阑转换器” 。

▪ 由于使用了强 力的涡沦分子泵和干燥前置真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。

▪ 完全自动设置的显微镜包括电子光路的设置和合轴。

▪ 成熟的扫描电镜控制软件，图像获取，存档，处理和分析功能。

▪ 网络操作和内置的远程控制/诊断是Tescan的标准配置。

▪ 国内唯 一已使用中文操作界面和操作软件的电镜厂商，同时有英文、俄文等语言可供选择。

▪ 使用3维电子束技术实现实时立体图象。

 

电子光学工作模式

分辨率﹕依据所选择的工作条件, 自动配置镜筒参数而得到至 佳的分辨率。

景深﹕在此模式下可以加强对景深的聚焦。

视野﹕优化镜筒结构后可得到大视野不变形图象。

大视野：提供样品的“宏观”视野。

摇摆电子束﹕采集电子通道花样（ECP）,可获得样品晶体方向的工作模式。

高真空下的分辨率（二次电子）﹕ 30KV下3.0nm。 3KV下8.0nm

放大倍数﹕6x—1,000,000x

加速电压﹕200V至30KV。

电子枪﹕钨灯丝。

探针电流﹕1pA至2uA

样品室﹕内部直径:160mm

            接口数: 8

            门宽：120mm

样品台﹕

类型: 3轴马达

驱动移动行程: X=45mm ——马达驱动

                    Y=45mm ——马达驱动

                    旋转:360度连续——马达驱动

                    Z=27mm ——手动

                    Z’=6mm ——手动

                    倾斜: -75度 — +50度——手动

                     大样品高度: 30mm

探 头﹕

标配: ET型二次电子探 头（YAG 闪烁体）

        探针电流测量

        报 警装置

 

可选配附件﹕

可移动式背散射电子探 头（YAG闪烁体）—可移动环行闪烁体类（YAG闪烁体）具有高灵敏度和原子序分辨率（0.1）。

固定背散射电子探 头（YAG 闪烁体）—不可移动环行闪烁体类(YAG闪烁体）具有高灵敏度和原子序分辨率（0.1）

可移动双闪烁体背闪射电子探 头

可移动四像半导体背闪烁电子探 头

可观察样品室的红外线摄 像头

透射电子探 头(TE)

荧光探 头（CL Detector）

电子束感应电流装置(EBIC)

EDX*—检出角度: 45°在工作距离23mm（单一EDX）或 35°在工作距离15mm（同时使用EDX和WDX）或 45°在工作距离23mm（同时使用EDX和EBSD至大直径100mm）

EBSD*—至 大直径36mm

*—其它厂家的产品可完全配合

 

选配附件：

电子束遮没装置

安装选配探 头或选配附件必 须先与TESCAN工程师商议。

 

样品室真空﹕ <9*10-3Pa

镜筒真空 ﹕ <9*10-3Pa

更换样品后抽真空时间﹕一般<3分钟

样品室和镜筒防振﹕机械

显微镜控制﹕显微镜的所有功能都由键盘，鼠标和轨迹球控制通过Window™平台上的VegaTC软件控制。