TESCAN VEGA 第 四代钨灯丝扫描电子显微镜，采用 Essence™ 电镜操控软件系统，将扫描形貌图像与元素实时分析集成于同一个扫描窗口中。这种组合大大简化了样品表面形貌的采集及所含元素的数据分析工作，使得全新的第 四代 VEGA SEM 成为质量控制、故障分析和研究实验室中常规材料等检测提供高 效的分析的解决方案。

突出特点

完全集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平台，在 Essence™ 电镜操控软件的单一窗口中即可实现SEM成像和元素成分分析。

TESCAN 采用无机械光阑设计，采用实时电子束追踪（In Flight Beam Tracing™）技术，可帮助用户快速获得电镜的 佳成像及分析条件。

大视野光路（Wide Field Optics™）设计，低至2倍的放大倍数，无需额外的光学导航摄 像头即可轻松、精 确地实现 SEM 导航。

SingleVac™ 模式作为标准配置，为观测不导电样品和电子束敏感的样品提供便利的分析利器。

采用 3D 电子束技术（3D Beam Technology ）可获得实时立体成像。

在样品台及装置的样品运动过程中，Essence™ 3D防碰撞模块可以直观的显示安装腔室内的探测器及样品台的位置信息，提供安 全性的保护。

真空缓冲节能单元可显著缩短机械泵的运行时间，提供环保、高经济效益的电子显微镜。

模块化分析平台，可选配集成多种类的探测器和附件（如阴荧光探测器，水冷背散射电子探测器或拉曼光谱仪等）。