TESCAN MIRA是新推出的第 四代高性能扫描电子显微镜，配置有高亮度肖特基场发射电子枪，在TESCAN 的 Essence™ 操作软件的同一个窗口中实现了SEM成像和实时元素分析。这种结合大大简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程，从而使得MIRA 成为质量控制、失效分析和实验室常规材料检测的有 效分析解决方案。

突出特点

完全集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平台，可在 Essence™ 软件的同一个窗口中实现SEM成像和实时元素分析；

TESCAN无光阑光路设计及实时电子束追踪技术(In-flight Beam Tracing™)，可快速获得好的成像和分析条件；

大视野光路（Wide Field Optics™）设计，可实现放大倍率低至2倍，因而无需额外的光学导航相机，即可轻松、精 确的对样品进行导航；

标配的 SingleVac™ 模式，不导电样品或电子束敏 感样品无需喷镀即可在此模式下直接进行观察；

直观的模块化 Essence™ 软件，无论用户的经验水平如何，均可轻松操作；

Essence™ 3D 防碰撞模型，可确保样品台和样品移动时，安装在样品室内探测器的安 全性；

可选配的镜筒内SE和 BSE 探测器，以及电子束减速技术，更好的提升了低电压下的成像性能；

标准分析平台，可选配集成多种类的探测器和附件（如阴荧光探测器，水冷背散射电子探测器等）。