Quattro ESEM分析平台,因为它的腔室可以配备一系列配件。分析能力包括能 量色散X射线光谱(EDS),具有180度双EDS附着的端口,与EDS共面的电子背散射衍射(EBSD)和波长色散X射线光谱(WDS)。
Quattro ESEM支持可选的高真空加热阶段,AutoScript,基于Python的脚本工具和新的RGB阴发光(CL)探测器。RGB CL检测 器产生彩色 图像,突出显示使用传统电子或X射线成像技术不可见的样品特性。高真空加热阶段可在高温下进行清洁的样品观察。使用AutoScript,用户可以对成像和舞台移动进行编程,以实现无人值守的数据采集。