FEI Inspect S50 扫描电子显微镜

技术参数：

1.电子枪：高亮度、方便维护的钨灯丝电子枪 
2.分辨率: 
　二次电子: 
　　高真空模式 3.0nm @ 30kV; 8nm @ 3kV 
　　高真空减速模式 7nm @ 3kV (可选项) 
　　低真空模式 3.0nm @ 30kV; 10nm @ 3kV 
　背散射电子: 
　　4.0nm @ 30kV 
3.加速电压：200 V - 30 kV, 连续可调 
4.探测器：E-T二次电子探测器，可选背散射探测器 
5. 50x50mm 4轴马达驱动全对中样品台

主要特点：

1.分子泵真空系统 
2.高稳定性、高亮度钨灯丝电子枪，满足高分辨观察和微观分析的要求 
3.FEI独特的LFD低真空二次电子探测器 
4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统 
5.基于Windows XP的图形用户界面, 简单易用