高分辨率的扫描电子显微镜

 

         Magellan XHR SEM 系列扫描电子显微镜 (SEM)让科学家和工程师迅速看到以前无法视及的微观世界： 高灵敏的表面图像、以及俯视或从其它角度观看图像，分辨率可达到一纳 米以下。 这款电镜上的一些重要突破在于它镜筒上采用了革 命性的单色枪技术,它使显微学家可完 美地把高空间分辨率和浅入射电子束结合在一起。 Magellan XHR SEM 系列扫描电子显微镜 (SEM) 在不受样品大小限 制的条件下,既扩展了传统纳 米尺度扫描电子显微镜的成像和分析范围与能力，同时又具备相当于传统扫描电子显微镜 (SEM) 的速度和易用性。

 

规格

 

加速电压 5 V - 30 kV

放大倍数 在射束同心时为 1.5 mm（宽度为 4 mm）

探针电流 电子束：1 pA - 22 nA

试件室 100 mm 直径、360 度旋转（至大）

 

 

 

主要优点

• 亚纳 米分辨率、1 kV - 30 kV 加速电压、无与 伦比的稳定性和高达 20 nA 的电子电流

• 创新的电子光学，包括 FEI 的 单色UniColore (UC) 技术（使能散小于 0.2 eV）

• 使用单个工具进行材料和缺 陷分析，实现高生产量和“快速应答”

• 表面灵敏高分辨率成像，低至 50 V 的着陆能量

• 高精 密、高稳定样品台，可在大分析室内进行 100 x 100 mm 样品完整表面的 高分辨成像

• 样品尺寸、形状、成分、制备不会互相制约

• 包括分析和原型制造的多样应用性

• 简单易学、易用