日常使用的SEM,好用!
随着技术的不断创新,观察的样品也越来越小,微小样品的测定已经常态化。 基于此,浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。
该设备高分辨率1nm、大探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。
产品特点:
■ Zeromag & Autofunctions
放大光学图像,无缝过渡到SEM图像
Zeromag具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能,样品台上有多个样品和观察特定区域时,很容易搜寻视野。
■ Integrated EDS & Live Analysis
一体化EDS和实时分析
SEM操作界面上有EDS分析操作,观察分析无障碍。Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能。
■ SMILE VIEW™ Lab
快速生成数据报告
JEOL 数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存。报告书一键生成。
也可以离线解析。
■ 信号深度显示
在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能,实时了解在测样品的分析深度(参考),有效用于元素分析中。
■ 自动电子束对中 (ABA)
电子束的轴偏离时,自动调整对中功能
■ 用蒙太奇功能进行广域观察与分析
蒙太奇结果 6x6(左:背散射电子像、右:Cu元素map像 )
样品:黄铜螺钉的平面刻蚀横截面*、 加速电压:20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像:6.4 mm × 4.8 mm
*机械研磨后、用IB-19530CP进行平面刻蚀加工
蒙太奇就是一种拼接功能,能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。此功能对于获取大面积详细信息非常有用。
主要参数
分辨率 |
高真空模式:1.0 nm (20 kV) 3.0 nm (1.0 kV),分析时:3.0 nm (15 kV 入射电流 3 nA), 低真空模式:1.8 nm (15 kV BED) |
放大倍率 | ×5 ~ ×600,000 |
电子枪 | 浸没式热场发射电子枪 |
加速电压 | 0.5 kV ~ 30 kV |
入射电流 | 数pA ~ 300 nA |
低真空范围 | 10 Pa ~ 150 Pa |
至大样品尺寸 | 200 mm直径×75 mm高、200 mm直径×80 mm高 ※1、32 mm直径×90 mm高 ※2 |
样品台 | 全对中,X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm 傾斜:-10 ~ 90° 旋转:360° |
OS、显示器 | Microsoft® Windows®10 64bit, 23.8”触摸型 |
真空系统 | 全自动TMP:1台 SIP:2台 RP:1台 |