JSM-IT800 热场发射扫描电子显微镜

JSM-IT800具备高分辨观察和高速元素面分析，能够满足客户的各种需求。该装置配备浸没式肖特基场发射电子枪、新一代电子光学控制系统Neo Engine、一体化EDS、易用的操作导航SEM Center、及可置换的物镜模块。

主要特点

1. 浸没式schott-plus场发射电子枪

电子枪与低像差聚光透镜结合实现了高亮度。即使低加速电压下也能获得充足的入射电流(100nA@5kv), 不需要切换物镜就能进行高分辨观察、高速元素面分析、EBSD分析、软X射线分析。

2. Neo Engine（New Electron Optical Engine）

配备本公司电子光学技术精华的新一代电子光学控制系统。即使条件变更时也可以进行稳定的观察。另外，自动功能等的易用性也大幅度提高了。

AFS ACB

样品：碳上的锡纳米颗粒

加速电压：15kV，WD：2mm，观察模式：BD，检测器：UED，倍率：x200,000

3. SEM Center / EDS一体化

操作导航“SEM Center”与本公司生产的EDS进行了全方面集成，更易于操作。此外，还配备了帮助初学者进行电镜操作的小型导航系统(可选)，以及便于实时图像观察的Live - AI (Live Image Visual Enhancer-AI)过滤器(可选)。

4. HL（Hybrid Lens）和 SHL（Super Hybrid Lens）

以电磁场重叠型物镜为基础设定了2种物镜，可以按客户的需求选择。这样磁性材料、绝缘材料等各种样品都能观察和分析。

5. 高位检测器UHD （Upper Hybrid Detector）

SHL物镜里标配高位检测器，大大地提高了样品产生的电子检测率，能够采集到高S/N的图像。

6. 新型背散射电子检测器

闪烁体背散射电子检测器（SBED、选配件）响应性能优越，适用于低加速电压下材料衬度像的采集。多用途背散射电子检测器（VBED、选配件）适用于3D、凹凸等特色图像的采集。

主要参数