JSM-IT800 热场发射扫描电子显微镜

1. 浸没式schott-plus场发射电子枪

电子枪与低像差聚光透镜结合实现了高亮度。即使低加速电压下也能获得充足的入射电流(100nA@5kv), 不需要切换物镜就能进行高分辨观察、高速元素面分析、EBSD分析、软X射线分析。

2. Neo Engine（New Electron Optical Engine）

配备本公司电子光学技术精华的新一代电子光学控制系统。即使条件变更时也可以进行稳定的观察。另外，自动功能等的易用性也大幅度提高了。

AFS ACB

样品：碳上的锡纳米颗粒

加速电压：15kV，WD：2mm，观察模式：BD，检测器：UED，倍率：x200,000

3. SEM Center / EDS一体化

操作导航“SEM Center”与本公司生产的EDS进行了各方面集成，更易于操作。此外，还配备了帮助初学者进行电镜操作的小型导航系统(可选)，以及便于实时图像观察的Live - AI (Live Image Visual Enhancer-AI)过滤器(可选)。

4. HL/HLs（Hybrid Lens）、 SHL/SHLs（Super Hybrid Lens）、i/is （Semi-in-Lens）

以电磁场重叠型物镜为基础设定了2种物镜，可以按客户的需求选择。这样磁性材料、绝缘材料等各种样品都能观察和分析。

i/is version采用semi-in-lens物镜，有效收集样品发生的低能二次电子，由上方的in-lens检测器UID检出。在半导体器件的失效分析中必要的样品倾斜和截面的高分辨观察分析及电位衬度观察中发挥威力。

5. 高位检测器UHD （Upper Hybrid Detector）

SHL物镜里标配高位检测器，大大地提高了样品产生的电子检测率，能够采集到高S/N的图像。

6. 新型背散射电子检测器

闪烁体背散射电子检测器（SBED、选配件）响应性能优越，适用于低加速电压下材料衬度像的采集。多用途背散射电子检测器（VBED、选配件）适用于3D、凹凸等特色图像的采集。

SHL 观察举例

1. Aluminium Oxide particles 二次电子像

入射电压0.5kV，检测器：UHD

i/is version 观察举例

1. 光催化颗粒二次电子像

JSM-IT800（i） UED检测器

样品提供：东京大学特聘教授堂免一成

参考文献：T. Takata et. al., "Photocatalytic water splitting with a quantum efficiency of almost unity," Nature , 581, 411-414, 2020.

2. 半导体器件（SRAM）内部组成像、电位衬度像、凹凸像

观察条件：入射电压1kV，WD8mm，观察模式SIL，检测器UED、UID、SED，3种信号同时获取