JSM-IT510 InTouchScope™ 扫描电子显微镜
- 产品编号:
- 产品型号: JSM-IT510
- 所属类别: 经济型扫描电子显微镜 - 扫描电镜
- 所属品牌: 日本电子
- 所属用途:
- 应用领域:
- 产品特性:
开发背景
扫描电子显微镜广泛用于纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学、生物学等各种领域，从基础研究到工厂现场、品质管理等越来越多的用途在扩展，对应地更快更简单的观察和数据分析的要求也越来越高。
为了提效率，本社对InTouchScope™系列的操作性进行改进，开发出JSM-IT510系列，该设备具有simple SEM功能，可以将日常的测试工作交给设备。
主要特点
1. 新开发 simple SEM
只需选好视野和设定好SEM像的采集条件后，自动采集图像，可提高日常工作效率
2. 新开发 低真空混合二次电子检测器LHSED
通过检测二次电子与残留气体分子碰撞时产生的电子和激发光，即使在低真空下也能得到详细的凹凸信息。
3. SEM与EDS一体化
SEM与EDS一体化升级，通过Live Map可以显示观察视野内的元素面分布的活图像。
4. 新功能Live 3D
一边SEM观察一边在此区域内采集构筑3D像的凹凸和深度信息
5. Live Analysis
配备了在观察中也经常显示元素分析结果的Live Analysis功能，可以进行有效的元素分析。
6. 新功能 样品台导航系统LS
可以获得以前机种4倍大的光学像 (200 mm×200 mm)。样品台导航系统获得光学像，点击这个光学像可在目标观察视野内移动。
7. Zeromag
可以像使用光镜一样移动观察视野，即使多视野观察和分析也能快速地找到
8. 显示信号深度
可以立刻知道测定样品的分析深度
9. 可集中管理采集的数据SMILE VIEW™ Lab
图像观察和元素分析结果集中管理，短时间内将所有数据生成报告
主要参数
| 分辨率 高真空模式 | 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
| 分辨率 低真空模式 | 4.0 nm (30 kV 背散射电子像) |
| 图像倍率 | ×5～×300,000 |
| 电子枪 | 钨灯丝 |
| 加速电压 | 0.3 kV～30 kV |
| 低真空 | 10～650 Pa |
| 自动功能 | 灯丝调整、电子枪合轴调整、聚焦/像散 / 亮度 / 衬度调整 |
| 样品大小 | 直径≤ 200 mm 高度≤ 90 mm |
| 样品台 |
大型全对中 X: 125 mm Y: 100 mm Z: 80 mm 傾斜：－10～90° 旋转：360° |
| 图像模式 | 二次電子像、REF像、成分像、凹凸像、立体像 |
| EDS功能 | 谱分析、定性分析・定量分析、线分析 (水平线分析、任意方向线分析)、元素面 扫、prob tracking |
