碳、电子束和溅射镀膜——精度值得信赖

使用 EM ACE600 溅射镀膜机，充满信心地制备用于电镜分析的细粒度薄膜。 准确的自动化碳镀膜和溅射镀膜工艺可产生值得信赖的可重现结果，提高每次运行的样本产出。

通过方便的前门装载方法、仅需按下一个按钮即可启动的收料即镀式自动化镀膜过程，EM ACE600 可以让您简单可靠地制备常规样本并节省宝贵的时间。

适合广泛应用领域的高真空镀膜系统

EM ACE600 溅射镀膜机装有可配置式金属处理室，十分灵活，适合广泛的应用领域。 实现工作流程目标，满足实验室需求——可在同一个制备过程中运行两个不同的溅射源，还可配置 EM ACE600 用于冷冻工作流程。

无论您需要……

• 对扁平或结构化的非导电样本进行高分辨率成像
• 增强纳米级结构（如蛋白质或 DNA 链）的对比度
• 生成透射电镜 (TEM) 载网的薄而坚固的支撑层，或者
• 为敏感样本提供保护层
• 扩展冷冻应用中的系统

……使用 EM ACE600 碳镀膜和溅射镀膜机，皆可实现。

通过溅射镀膜获得可重现的高品质薄膜

使用 EM ACE600 高真空镀膜系统，每次运行均可始终一致地生成高品质的溅射镀膜薄膜。 使用收料即镀的自动化溅射镀膜工艺，满足镀膜所需的适当条件并实现可重现的结果。

可进行高达 200kX 的高放大倍率扫描电镜 (SEM) 分析，具有良好的基础真空度（<2x10-6 mbar），可为各种不同的溅射靶材仔细均衡调整工艺参数。 根据样本形态的需要调整样本距离和镀膜角度。

为进一步加强镀膜效果，可以使用 Meissner 捕集器将真空度提高到 10-7 mbar，之后再尝试对氧敏感的溅射靶材或样本材料。

按需配置 EM ACE600

通过 EM ACE600 的大型可配置金属处理室，可在不破坏真空的情况下用一台镀膜机运行多个制程。 同时，将溅射头与的碳丝蒸发器结合使用或者选用两个溅射源，可在一次制备过程中完成多层金属镀膜。

• 采用经过优化的带两个斜角端口和一个旋转台的双源方法，可在整个100毫米样本台上生成均匀分布的薄膜
• 有稳定的碳丝、电子束和溅射镀膜机溅射源可供选择
• 为您的 EM ACE600 装配辉光放电溅射功能
• 可随时在现场升级

适用于双源的 ACE600 可配置端口。 有以下配置可供选择： 1- 碳丝蒸发 | 2- 溅射 | 3- 碳棒蒸发 | 4- 电子束蒸发

专注于制备过程的关键部分

使用 EM ACE600 碳镀膜和溅射镀膜机，只需按下一个按钮即可让您充满信心地完成常规样本制备。 简单可靠的工作流程和便捷的标准操作程序让您能够专注于电镜样本制备的关键部分。 您可以专注于优化工作流程，减少自己学习操作方法或培训他人使用方法的时间。

• 通过前门安全装卸敏感样本
• 基于工作流程的用户界面，可快速访问相关参数，全程引导式操作
• 轻量、稳定的溅射源，方便日常操作

扩展至冷冻工作流程

在冷冻条件下为样本镀膜，多方位提升实验室电镜实验能力。 将样本冷冻断裂和冷冻镀膜后，通过 EM VCT500 传输系统将冷冻样本传输至扫描电镜，EM ACE600 碳镀膜和溅射镀膜机可帮助制备样本用于研究，如在生物样本原生和水合状态下的结构分析。

EM ACE600 提供：

• 用于传输冷冻样本的接口
• 用于低温冷冻条件下镀膜的冷冻台
• 基本型断裂装置

选择优化配置

配置 EM ACE600 碳镀膜和溅射镀膜机，满足实验室日常工作需求。

有各种样本支架和样本台可供选择，例如带有多达 3 个电动轴的 3 轴样本台或专用冷却台。

可快速更换的样本台基片使 EM ACE600 成为多功能工具。

超薄碳膜

碳镀膜在电镜领域的应用十分广泛。 它需要具有导电性，但对电子束透明，并且不能具有颗粒结构。

采用自适应脉冲方法的 EM ACE600 碳丝所生成的薄膜，厚度准确、坚固并具有导电性，还可以通过烘焙法进一步减少污染。 最终，这类薄膜提供：

• 对电子的高透明度
• 足以承受电子轰击的强度
• 均匀的厚度，这对于分析研究、定量成像或电子断层扫描至关重要

旋转投影—使纳米级结构清晰可见

以专用小角度旋转投影（LARS）设置配置 EM ACE600，可在透射电镜中对纳米级结构（如蛋白质或 DNA 链）成像。 EM ACE600 电子束源与电动 LARS 样本台将指令、低热损伤影响、薄膜沉积与优化的样本台几何结构相结合，可实现掠角入射沉积。 用细粒度铂层以小角度对 DNA 链进行投影镀膜，然后添加碳层稳定脆性结构，以便在 TEM 中进行分析。