日常使用的SEM,好用!
随着技术的不断创新,观察的样品也越来越小,微小样品的测定已经常态化。 基于此,浸没式热场发射扫描电子显微镜InTouchScope™系列 JSM-IT700HR诞生了。
该设备 高分辨率1nm、 大探针电流300nA(之前的15倍),可提供丰富的观测和分析信息,用户界面操作简单、设计紧凑、配备大样品室。
Zeromag具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能,样品台上有多个样品和观察特定区域时,很容易搜寻视野。
※若显示光学像,需要选件样品台导航系统SNS
■ Integrated EDS & Live Analysis
一体化EDS和实时分析
SEM操作界面上有EDS分析操作,观察分析无障碍。Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能。
■ SMILE VIEW™ Lab
快速生成数据报告
JEOL 数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存。报告书一键生成。
也可以离线解析※1。
※1 需要离线分析软件 ※2 需要安装Microsoft®Office
在操作导航GUI里增加了【信号深度显示】功能,实时了解在测样品的分析深度(参考),有效用于元素分析中。
电子束的轴偏离时,自动调整对中功能
用蒙太奇功能进行广域观察与分析
蒙太奇结果 6x6(左:背散射电子像、右:Cu元素map像 )
样品:黄铜螺钉的平面刻蚀横截面*、 加速电压:20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像:6.4 mm × 4.8 mm
*机械研磨后、用IB-19530CP进行平面刻蚀加工
蒙太奇就是一种拼接功能,能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。此功能对于获取大面积详细信息非常有用。