X射线荧光的产生原理
X射线管发出X射线照射样品，样品中所含的原子被激 发而产生原子的X射线。这种X射线被称为X射线 荧光。不同的元素波长（能量）不同。通过检测X射 线的波长，能够进行定性分析。X射线荧光的强度与 含量呈函数关系，检测元素的X射线的量值能够 进行定量分析。
追求高速・高灵敏度・高精度的机型—EDX-7200通过高分辨率SDD检测器的搭载以及高计数率的实现，获得更高的检测效率。
搭载高速电路，计数量高达以往型号（EDX-720）的30倍。通过改良算法和升级基本性能，缩短了测定时间， 进一步提高了操作便捷性。
铜合金中的铅（Pb）的谱图比较
铜合金中的铬（Cr）的谱图比较
测定时间与标准偏差（定量值的偏差）的关系
满足目标分析精度所需的测定时间
X射线荧光分析可以通过延长测定时间增加X射线荧光的计数来提高精度（重现性）。 搭载高计数率SDD检测器和高速电路的EDX-7200与以往型号（EDX-720）相比，能够在更短的时间内达到目标分 析精度。
提高了金属分析中微量元素的检测下限。
金属中的铅的检测下限基准（300秒）
※ 检测下限值仅为示例，并非保证值。
SDD检测器为电子制冷方式，无需液氮冷却。不仅可以免去繁琐的液氮补充作业，还可以降低运行成本。
・ 用EDX-7200进行12Mg以下的轻元素分析时，使用真空检测单元或者氦气置换检测单元(均为选购件）。
・ 检测下限因样品基材和共存元素不同而有差异。
・ 使用样品容器分析20Ca以下的轻元素时，由于薄膜吸收的原因，难以达到上述检测下限基准。
优良的通用性
从微小样品到大型样品，从粉末样品到液体样品，灵活应对各类样品。
可配备进行轻元素高灵敏度分析时所需的真空检测单元、氦气置换检测单元以及可实现自动连续测定的12位样品 转台（选购件）。
ø1、3、5、10mm 四级自动切换
根据样品尺寸的不同，照射直径可进行4级切换。微小异 物分析和不良分析时采用ø1mm，少量样品时采用ø3mm和 ø5mm，可以根据样品的形状选择适合的照射直径。
标配样品观察装置
通过样品观察装置，可以确认X射线的照射位置。适用于 检测微小样品、检测由多个测样点组成的样品、使用微量 样品容器检测等情况。
准直器和一次滤光片独立驱动，可自由组合，共6×4种=24种组合可选。 同时，所有组合均可对应FP法进行定量分析。
由于轻元素产生的X射线荧光在大气环境下易被吸收，所以需要在真空环境下提高轻元素的检测灵敏度。
真空环境为100时，氦气置换和大气环境下的相对灵敏度
真空环境和大气环境的分析结果比较
（样品：钠钙玻璃）
对于无法在真空环境下进行分析的样品（如液体、会产生气体等），可以通过氦气置换实现轻元素分析。
升级了岛津的氦气置换系统，且配备可实现短时间检测并减少氦气 消耗量的功能。
校准曲线法是指通过对标准样品的测定，依据X射线 荧光强度与标准样品的含量关系制作校准曲线，是对未知样品进行定量的方法。 校准曲线法需要选择与未知样品类型相近的标准样品 且需要制作各元素的校准曲线，从而实现准确度高的分析。可以进行吸收/激发校正、重叠校正等各种共存元素校正。
根据理论计算而得出X射线强度的定量方法。对于难 以找到标准样品对应的未知样品，FP法是有效的定量 分析方法。
配置自动设定平衡功能
样品主要成分为C,H,O等时，FP法需要进行平衡（残 余成分）设定。如根据特征形状判定需要平衡设定时， 软件将自动进行。
背景FP法指在仅计算X射线荧光（净峰）强度的传统FP法基 础上，增加计算散射X射线（背景）强度的方法。
在提升少量有机物样品的定量准确度、异型镀层样品的膜厚 测定、有机膜的膜厚测定方面效果显著。
标配薄膜FP法。可检测多层膜的膜厚,同时对膜的组成进行 定量分析。薄膜FP法可对基板等基材、镀层结果、元素信息 进行设定。
匹配功能是指将某种样品的分析结果与所保存的谱库 比较，按由高到低的顺序自动排列出接近的物质。
谱库分为含量数据和强度数据两类，用户均可登录。 同时，含量数据更可手动直接录入。
460mm宽的紧凑机身，与以往型号（EDX-720）相比，宽度减少了20%。
虽然机身紧凑，但却拥有可放置300（W）×275（D）×约100（H）mm样品（相当于A4大小）的大型样品室。
为了使X射线荧光分析贴近每一个实验室，深入浅出的软件PCEDX Navi应运而生。 仅凭直觉即可操作的简洁界面，无论是初学者还是专家，都可以体验到便捷的操作环境。
简洁的界面
在一个界面内可以同时显示样品图像、选择分析条件、输入样品名称。
在测定界面上可以直接切换准直器
可以一边观察样品图像,一边切换准直器直径。 同时,选定的直径用黄色圆圈表示。
自动保存样品图像
测定开始时自动读取样品图像，与数据文件夹关联保存。
粉末样品的分析是X射线荧光的典型应用。对样品加压成型或者直接将样品放入样品容器中即可进行分析。下图是进行了Na～U定性定量分析的岩石标准物质应用例。即使没有标准样品，也可进行准确的定量分析。在真空环境下，轻元素也可实现高灵敏度检测。
将液体样品放在底部附有聚酯膜的样品容器内即可进行分析。可对水溶液、有机溶剂、油中的添加成分和磨损金 属等进行检测·定量分析。可以检测出废油中ppm级的重元素。
EDX能够无损进行元素分析，因此可对食品、医药品、产品上附着或者混入的异物进行有效分析。通过样品的观 察装置和使用相应的准直器，可以轻松定位微小异物。
将照射直径缩小到与样品相符的大小时，可以有效降低周边材质对其的影响。根据结果进行准确的定量匹配，可以确定下图例中的材质为SUS316。
样品外观
异物部位（红色）和正常部位（蓝色）的分析谱图叠加
EDX也适用于催化剂残留的检测。有机合成时，常用ICP分析等对催化剂残留进行定量分析，但前处理操作等十分 繁琐，需要很长时间才能获得结果，而采用EDX则可轻松进行定量。
下面介绍使用Pd标准溶液制作的标准曲线对有机物（纤维素）中的Pd进行定量的分析示例。使用散射线内标校正，不仅可校正水和纤维素的材质差异，而且在样品量很少的情况下，也能获得足量样品相同的定量结果。
苯酚、异丙基磷酸（3:1）（PIP（3:1））被广泛应用于以聚氯乙烯（PVC）和聚氨酯等树脂为代表的产品中，以使产品具有可塑性和阻燃性。另一方面，美国环境保护署（U.S.EPA）的有毒物质控制法案（TSCA）开始对含有 PIP（3:1）的产品及成品的制造、加工与交易进行管控。EDX可通过对含P化合物PIP（3:1）中 P浓度的筛选分析，以满足上述管控要求。使用选购件真空检测单元，可进一步提高分析的灵敏度。
PIP（3:1）的分子式
含PIP（3:1）样品与空白的谱图叠加
※含PIP（3:1）的类似样品，是指在石油醚中加入了PIP（3:1）和氯化石蜡，使磷(P)浓度达到1000ppm的样品。
含PIP（3:1）实际样品在真空/大气环境下测试的谱图叠加
通过薄膜FP法,可以同时定量分析多层膜的厚度和成分组成。
以下为镀层膜厚4.8µm,主要成分为Ni、P以及检测出微量的Pb的构成定量示例。
EDX可通过使用薄膜FP法，在无标准板的情况下测定镀层膜厚。但是，样品表面不平坦的情况下，采用薄膜FP法 可能会产生较大的误差。 如果使用背景FP法（参考P10），则可对像螺丝轴部那样的异型样品进行膜厚测定，误差很小。下图是镀锌螺丝的膜厚测定案例。
※1 搭载可提高窗口耐久性的Ｘ射线光管
※2 为选购件。
※3 分包含或不包含Microsoft®Office两种。
安装X射线仪器的申请义务
安装X射线仪器前，根据相关法规，可能需向环保局提出安装申请。
旋转式真空泵和电源接口是真空测定单位（选购件）的构成品。
