"GRAND ARM™2更新了。实现在宽范围加速电压内,高空间分辨率下高灵敏度分析。
主要特点
1. FHP2 新型物镜 靴
保证 高空间分辨率观察的同时,优化FHP物镜 靴的形状以满足大尺寸双SDDs(158mm2)的需求,x射线有效检测效率提高了两倍以上,实现亚埃级分辨率的EDS元素面分析。
2. 新型屏蔽体
TEM柱采用箱式外壳,可减少温度、气流、噪声等环境变化的影响,从而提高显微镜的稳定性。
3. ETA 校正器 & JEOL COSMO™
快速准确的像差校正
4. 稳定性提高
CFEG采用小型SIP泵,快速提高真空度,提高了发射体附近的真空、发射电流、探针电流的稳定性。其他改进也提高了显微镜的稳定性和对各种干扰的抵抗力。
主要参数
分辨率 |
HAADF-STEM像 : 0.053nm 电子枪:冷场发射电子枪 |
加速电压 | 标准:300kV,80kV |
EDS |
158mm2 × 2台 1.4sr (FHP2 靴) |