- 透射电镜
- 热场发射电镜
- 冷场发射电镜
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。 采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了超快的数据采集和成像速度,同时保证了纳米级分辨率。 面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
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