通过利用扫描电镜观察样品必须遵循:小倍率选区;高倍率放大;移动样品至适当位置,调焦;调亮度和反差至最佳;拍摄的过程。而且一般都是机器自动设定拍摄时间和扫描速度,进行影像拍摄,而且是逐点逐行地扫描拍摄,并不是一下子将整幅影像拍摄下来。针对扫描电镜的特殊要求以及扫描电镜的成像原理,瑞盛科技总结出一些优良SEM影像照片的拍摄要点。
一、聚光镜电流的选择
聚光镜电流的大小将直接影响电子束的亮度以及光斑直径的大小,也影响成像的分辨率和反差。在保证足够的观察条件、拍摄的亮度和反差的需要下,应尽量使聚光镜电流稍为大一些,以获取较小的电子束流探针直径,得到较高分辨率;但聚光镜电流又不可太大,太大则使电子束流能量太低,信号与噪声的强度比(信噪比)下降,影像也会平淡无力,缺少立体感。故聚光镜电流的调节应和亮度与反差相配合。
二、亮度和反差的调节
高反差能增加立体感,但却损失了许多细节,所以在保证较好反差的情况下,要调出足够的灰度等级。SEM上常设有亮度及反差的调节指示表。操作者可根据指示表去调整,参照自己观察对象的目的需要,适当地给予补偿。
3.加速电压的选择
加速电压的提高,纵然可以增大电子束的能量,提高信噪比和反差,这只是一个单方面的因素,从另一方面考虑,也会增加背散射电子的数目和电子束的穿透力,这样影像中物体边缘的锐利度会降低,也将使分辨力下降。 通常可以根据影像质量和拍摄需要进行选择。
4.样品倾斜度和光阑孔径的选择
样品台除可向X、Y方向移动外,还可以做一定量的倾斜。倾斜样品台等于让电子探针从侧面轰击样品,就象日常拍摄照片时一样,用侧光比用正面光能得到更好的立体感。但倾斜面的两侧不在同一平面上,倾斜太多则不好兼顾聚焦,会造成两侧模糊,同时也会损失一些细节。光阑孔小时,能提高反差,增大立体感和景深范围,但太小则损失能量多,光衍射增大,也会影响分辨率。
5.消像散与聚焦
存在像散时与聚焦不清是不一样的。聚焦不清则使像的四周呈现同等程度的模糊。像散则 为影像边缘沿某一方向被拉长,四周的模糊程度并不均匀。像散与聚焦对成像质量的影响同等重要。扫描电镜照片的拍摄要力求将像散消减到最小,聚焦达到最清晰。
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