在扫描电镜的设计中，电镜的灯丝就好比汽车的发动机，汽车发动机的类型决定着汽车的排量，扭矩，加速时间等，同样，扫描电镜所用的灯丝也决

定着电镜图片的分辨率，成像衬度及信噪比。选定了汽车的发动机就需要选择与之相匹配的底盘，车架，变速器。而对扫描电镜来说，选定了扫描电

镜所使用的灯丝，就需要选择与之相匹配的真空系统，电子光学系统及成像系统。六硼化铈灯丝类似于透射电镜中常用的六硼化镧灯丝，其亮度为钨

灯丝的10倍，电子源尺寸更小，单色性更强，有利于在样品上形成更小更亮的电子束斑，得到的电镜图片分辨率更高，信噪比更强。

钨灯丝，六硼化镧灯丝，六硼化铈灯丝，这三种灯丝的主要性能可以从以下表格中有所了解。