1、电子显微镜的发展历史：

1926年汉斯·布什研制了第一个磁力电子透镜。

1931年厄恩斯特·卢斯卡和马克斯·克诺尔研制了第一台透视电子显微镜。展示这台显微镜时使用的还不是透视的样本，而是一个金属格。1986年卢斯卡为此获得诺贝尔物理学奖。  世界第一台电子显微镜

1934年锇酸被提议用来加强图像的对比度。

1937年第一台扫描透射电子显微镜推出。一开始研制电子显微镜最主要的目的是显示在光学显微镜中无法分辨的病原体如病毒等。

1938年他在西门子公司研制了第一台商业电子显微镜。

1949年可投射的金属薄片出现后材料学对电子显微镜的兴趣大增。

1960年代投射电子显微镜的加速电压越来越高来透视越来越厚  电子显微镜

的物质。这个时期电子显微镜达到了可以分辨原子的能力。

1980年代人们能够使用扫描电子显微镜观察湿样本。

1990年代中电脑越来越多地用来分析电子显微镜的图像，同时使用电脑也可以控制越来越复杂的透镜系统，同时电子显微镜的操作越来越简单。[1][5]

 

4、4、电子显微镜的缺点

在电子显微镜中样本必须在真空中观察，因此无法观察活样本。随着技术的进步，环境扫描电镜将逐渐实现直接对活样本的观察。

在处理样本时可能会产生样本本来没有的结构，这加剧了此后分析图像的难度；

由于电子散射能力极强，容易发生二次衍射等；

由于为三维物体的二维平面投影像，有时像不唯一；

由于透射电子显微镜只能观察非常薄的样本，而有可能物质表面的结构与物质内部的结构不同；

超薄样品（100纳米以下），制样过程复杂、困难，制样有损伤；

电子束可能通过碰撞和加热破坏样本；

此外电子显微镜购买和维护的价格都比较高。