在真空系统中，需要经常检查机械旋转泵和油扩散泵的油面，一旦发现油面下降应及时加油。旋转泵若缺油不仅会磨坏轴套上的油封圈，而且对旋片端头和内腔壁也可能会造成永久性的损伤，使极限真空度下降。用真空计检查真空度是必要 的，但是随着真空系统的自动化，有的电镜为了降低成本，把某些真空计也省略掉 了。为了提高真空系统的可靠性，延长各部件的使用寿命，对以下各点多加留意，以便能及时发现异常情况，随时做好维护和保养的措施。

 

(1) 在正常的偏置电压和发射电流下工作，若灯丝的寿命变得越来越短，这很 可能是真空度已变差，改善的办法是检查各部件的运行情况，采取有针对性的措施 进行解决，如检查真空系统的连接部位是否松动？查明原因，有的放矢，尽量提高电镜真空系统的真空度。

 

(2) 若电子枪、衬管、光栏和样品仓等部位的污染加快、加重，则意味着冷却循环水的冷却效果变差，有可能是冷却水的压力下降、水温上升或管道内水垢增厚，这些都会导致制冷效果不良。此时要采取相应的解决办法，如调高循环水的压力或调低水温、排除循环水通道中的堵塞滅清断却管道中的水鮮相应措施。

 

(3) 及时排出空压机巾随水，娜不同实验室环境難的大小，以及用气量多少的不同，—般在南方地区春季约4〜5周、夏季约6〜7周、秋、冬季约8〜9周排水一次。

 

1.机械泵的维护

(1) 建议每月查看旋转泵的油面是否低于正常油位？是否漏油、缺油，声音是否异常？若是漏油应查明原因，如拧紧排油孔的塞子或更换轴封等，若缺油应及时 补充到正常的油面高度，若噪声大，应检查气镇阀是否处于开启状态？若气镇阀处在开启状态，则应把它关闭。

 

(2) 机械泵中的油是否浑浊？建议每月把机械泵中的气镇阀打开，让泵油自身 净化4〜6小时，净化完成之后及时关闭气镇阀。每年至少更换一次机械泵油。

 

2.油扩散泵的维护

(1) 对于具体的扩散泵应按该电镜所带的说明书中规定的时间间隔进行加油和换油。

 

(2) 电镜若要正常停机或油扩散泵要加油或做其他维护或检修，在关断电镜和油扩散泵的加热电源后，应让循环水机继续运行至少35min之后才能停机，即让泵 内的油温降到低于70度，才能停止冷却并进行后面的维护或检修。这样既可让泵油、泵体和高压电源等受冷却的部位都能得到充分的降温，尤其重要的是减少泵油的氧化，也可以避免拆卸时人手被烫伤。

 

3.涡轮分子泵的维护

(1) 涡轮分子泵在工作时由于电动机转叶高速运转，对其外壳要小心保护，千万 不能有外来碰撞，否则会造成转子同心度偏离或轴承受损等难以修复的故障。

 

(2) 涡轮分子泵对小颗粒物体或沉积物都很敏感，若小螺钉、螺帽、垫片或试样碎片一旦掉进正在高速运转的分子泵中，则会损坏转子叶片，一旦出现这种情 况，就得把整个分子泵拆下来返回生产泵的原厂进行换叶片和轴承，甚至更换整个泵，这不仅是很贵的开支，而且耽误工时。为了安全起见，应在泵的入口处装上细孔的筛网，以保护泵的正常运转，但这种措施多少都会影响泵的抽速。

 

(3) 含油轴承或混合轴承的涡轮分子粟最好分别每隔2和4年就要进行加油或更换润滑脂的维护工作，这样分子泵才能平稳、可靠地长期运行。

 

(4)对于用水冷却的涡轮分子泵配套的抽气系统，当关闭电镜的主机或分子泵的电源后，还应让循环水机继续运行l5min以上，才能关闭循环水机的电源。若冷 却循环水机没有自动延时装置，则应釆用人工延时，这样才可让泵体中的转子和轴承、电镜中的物镜和高压电源等受冷却的部位都能得到充分降温。

 

4.离子泵的维护

(1) 因离子泵的外壳两侧有一块大的马蹄形磁铁，烘烤温度一般不能超过说明书所规足的温度值。在烘烤时严禁撞击、敲打泵壳。因在高温下撞击、敲打， 磁铁的磁性容易衰退，从而影响抽气速率和极限真空，也可能会振断卤素灯或红 外加热管中的加热丝。

 

(2) 当不处在烘烤时，允许偶尔使用螺钉的木质或塑料端头去适当敲击其外壳，使沉积在阳极内壁和阴极表面的粉尘颗粒脱落，有助于提高抽气速率。

 

(3) 若要检修离子泵，应先关断其高压电源，并且让其内部电容充分放完电(最好等10min)后，才能拆幵其高压连接部件，以免人身遭到电击。

 

(4) 离子泵外壳磁铁的磁性很强，在拆卸时最好取下手上所戴的手表，也要取 出胸前口袋里的手机，以免被磁化，影响手表或手机的正常使用。

 

(5) 要定期检查高压电极的连接是否完好，端头的陶瓷绝缘子表面是否干净， 若沾有污物，应关掉电源，等待l0min之后，再用无水酒精把陶瓷表面擦洗干净， 以免造成漏电、跳闸或伤人。

 

5.真空测量计的维护

通过测量电离生成的离子或电子的电流而得出气体的压力，这种真空计称为电 离真空计。电离真空计是基于在一定条件下，待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的一种真空测量部件。电子的产生方式有两种：一种方 式是加热金属丝放出热电子（热阴极）；另一种方式是利用等离子体（冷阴极)。

 

皮拉尼真空计是利用惠斯通（Wheatstone)电桥的补偿原理做成的，其中的热 丝作为该电路中的一个电阻。当热丝周围的气体分子密度改变时，其热导率会随着 改变。因此’热丝所表现的温度也会不同，间接影响电阻值的大小。它是用于测量低、中真空区的传感器，使用的时间长了’会受到机械泵和扩散泵中油蒸气和粉尘 的污染，当它受到污染时，热丝温度的改变会导致热丝的阻值发生异常变化，测量误差就会增大，所以需要定期清洗。

 

潘宁真空计是冷阴极电离真空计的一种，可用于测量高和超闻真空区的真空 度。因为是冷阴极方式，不必担心电极烧毁而损坏的问题’但缺点是放电不是很稳 定。潘宁冷阴极电离真空计虽是专用于测量高真空段的传感器,但时间士』也会受到油蒸气等的污染。一旦受污染’从阴极放出的电子数量会受到影响，灵敏度会变 差，测量误差就会增大，所以也需要定期清洗，但它的清洗间隔周期比较长，只需偶然清洗一下。

 

清洗这两种真空计时最好先用汽油浸泡几分钟，摇晃几下倒掉汽油，再分别用 洗衣液加水一84消毒液加水一丙酮一无水酒精各进行约5min的超声清洗，烘干后即可装回使用。