扫描电镜信号汇总

 

  

在扫描电镜中电子束入射到样品，与物质相互作用，激发二次信号，对其中的二次电子，以及背散射电子收集放大成像。

 

电子与物质的相互作用如图：

 

 

 各种信号的深度以及区域大小如图：

 

 

不同信号得出的样品信息：

 

二次电子（SE）：

高分辨的样品表面形貌

样品的电压衬托

样品的磁衬度与磁畴寿命

 

背散射电子(BSE):

表面形貌

原子序数（化学成分）衬度

晶体取向衬度（晶体学研究）

提供电子的通道花样，确定晶体取向（晶体学研究）

 

特征X射线： 

任何部位的元素分析和元素分析图

 

俄些电子：

样品表面薄层中轻元素分析和元素分析图

 

相关实例：

 

二次电子像

 

 

背散射电子像

 

 

两种图像的对比

 

  

 

BSE与EBSD

两者共同点都是背散射电子源，但是用途迥异；

BSE在SEM里是背散射电子信号成形貌像；EBSD是利用背散射电子衍射出来的菊池花样进行晶体取向标定，EBSD技术只能用来研究晶体材料。

 

 

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