01-仪器结构及原理

仪器结构

2）接收并处理各种电子信号的成像系统：扫描信号发生器、探测器、扫描放大器、电子信息处理器和监控器；

4）作为电子束与样品作用载体的真空系统：样品室、真空阀门、机械泵、油扩散泵、离子泵和真空检测装置；

       电子枪：场发射电子枪、钨丝枪、六硼化镧

二次电子：形貌观察

EBSD：组构分析

03-样品类型及制样

样品种类： 对样品的要求：

2) 尽量保持样品原始的表面形态和结构。

4) 测试的整个流程要注意清洁。为降低样品污染程度，可事先用酒精或超声波清洗。

6) 待测面为锥状、似锥状或有明显棱角、尖角等的突兀状样品无法测试。同样，样品底面因不平整而阻碍导电处理的样品需要磨平。