扫描电镜的基本操作&扫描电镜分辨率
第一节 电镜的基本操作
要获得一张清晰的电镜照片，必须要能够做好最基本的电镜操作、以及针对各种样品做出工作条件的优化。
基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易，改变焦距，直至图像最清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行精确对焦。
基本操作中消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生，电子束由于不再是圆形，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。
图5-1 弧矢、子午和明晰圆对应的图像
所以反映在电镜图像上，改变焦距的时候会出现两个严重的拉伸，拉伸方向可能因样品而不同，但是这两个拉伸方向一定正交。所以此时将焦距调节至两个拉伸明显状态的中间位置，基本固定焦距。然后在此焦距下，进行消像散线圈的调节，先调X或Y中的一个维度，待图像达到最清楚后再调节另一个维度。
有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，比如孔洞或者颗粒（如图5-2），或者样品边缘（如图5-3），都可以轻易的进行判断。尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。
图5-2 孔洞、颗粒的像散判断
图5-3 边界的像散判断
消像散、对焦是扫描电镜操作中最基本的要求，在进行图像观察时要时刻保持合焦和无像散的状态。
第二节 扫描电镜分辨率
分辨率是扫描电镜最基本的性能判断指标，首先我们要弄清扫描电镜分辨率的一些细节问题。
通常有关分辨率的问题，都会遵循瑞利判据。即一个光点按照衍射理论会是一个衍射斑，两个光点逐步靠近时，对应的衍射斑也从分离趋于重合。当两个衍射斑的半高宽重叠，则认为不可区分了。此时两个衍射斑之间的距离即为分辨率，如图5-4。
图5-4 瑞利判据
但一般单帧图像的仪器才完全符合此规律，比如TEM、光学显微镜等。扫描电镜的分辨率以瑞利判据为基础，但也却略有不同。扫描电镜是属于电子束移动型的，并不完全适用半高宽重合的概念。
扫描电镜的分辨率分为理论分辨率、验收分辨率，和一般测试过程中能达到的分辨率。
§1. 理论分辨率
扫描电镜的理论分辨率只能用电子束束斑所能达到的最小尺寸来进行描述，其达到样品上的束斑的直径理论上为：
其中，d为理想状况下电子源汇聚点经过电磁透镜成像后的束斑大小、CS为电镜的球差系数、CC为色差系数、ΔV为灯丝单色性、V为加速电压、I0为束流、B为灯丝亮度、α为电子束汇聚的张角，λ为电子波长（远小于其它项）。
束斑直径D越小，电镜分辨率越高。我们详细分解一下上述公式：
① 高斯束斑dk项：
在不考虑任何非理想因素时，将电子镜筒完全看成是光学成像。电子源发出的电子在经过透镜、光阑、物镜后，束斑变小，这和光学仪器中的逐次成像基本一致，如图5-5。
根据图5-5中，我们可以得到到达样品上的束流I0为
其中，αa越小，αj越大，束流越小。αa对应的光阑大小，αj对应聚光镜的励磁。再根据透镜逐次成像公式，我们得到束斑直径d为
或者根据亥姆赫兹-拉格朗日定则同样得到束斑直径d为
由公式我们便可得知不同的电子源d0相差很大，所以对d乃至最后实际电子束的直径有很大影响。其次，工作距离越近S越小，汇聚角α越大，聚光镜励磁越强αj越大，光阑孔径越小αa越小，均是有利于减小最后的束斑尺寸。
从这一点我们也能得出一个简单的结论，在实际操作过程中工作距离越小、光阑孔径越小、束流越小，分辨率越高。
② 有关球差项：
球差CS由电镜设计所决定，无法通过电镜操作进行改变。不过半磁浸没式透镜比无磁场物镜有更低的球差系数，这也可以说明具有多模式的电镜在进入磁浸没模式后，分辨率会大幅度提高。
③ 有关色差项：
色差CC由电子源的类型所决定，也非通过改变电镜工作条件就可控制。不过相对来说高电压下色差是影响更小，所以这也是为什么所有的电镜都是在高电压下有着比低电压更好分辨率的重要原因。
④ Boersch效应：
虽然电子束与光束的汇聚成像极其类似，但是两者有一个重大的不同点，那就是光线在传播中对其它光线不会有任何影响，而电子束中的电子间却存在相互排斥的库仑力，如图5-6。
图5-6 Boersch效应
A为理想状态下电子传播的过程，但是由于存在库仑力的作用，会导致电子在传播过程中后面的推前面的电子，在这一过程中导致电子能量发生震荡，如B；不仅在传播方向，由于电子束总有一定的截面积，在同一个波面中的电子也会相互排斥，如C；
所以早在1954年，Boersch就随着电子束束流的增加会导致电子能量分布展宽，大大超过阴极温度对应的麦克斯韦分布的能量宽度，从而使得束斑尺寸大幅度增加，这就是著名的Boersch效应。
根据束斑公式，我们先做一个简单的结论。将所有参数分成两个部分，一部分由电镜设计所决定，操作人员改变不了的因素：如球差、灯丝色差、亮度等。另一部分，操作者可以通过改变电镜工作条件进行控制来减小束斑尺寸、提高分辨率：提高加速电压、减小束流束斑、减小工作距离、减小光阑孔径。
§2. 验收分辨率
以上介绍的都是理论上的分辨率，但是电镜的分辨能力最终要通过实验进行检验，于是任何电镜都有一个指标分辨率来表明电镜的性能水平，而所谓的验收分辨率一般都要不差于指标分辨率。
不过电镜验收和平时实验观察不同，拍摄验收指标需要在比较苛刻的条件下进行。不仅要有达标的环境条件，不能有电磁场、振动干扰，也必须是特定的碳衬底金颗粒样品。
不过目前有关电镜的验收分辨率还没有标准的测试方法，不过通常采用的有三种方法：间隙测量法、有效放大率法和对比度法。
① 间隙测量法
间隙测量法早期使用很多，甚至现在有很多电镜验收依然采用此种方法。此种方法是拍摄金颗粒标样，然后寻找金颗粒之间的间隙进行测量，将能量到的最小间隙作为分辨率，如图5-7。
图5-7 间隙测量法
不过此种方法有着很大的局限性，随着电镜分辨率越来越高，金颗粒之间的间隙可能要比分辨率大很多，很难找到适合测试分辨率的位置。另外，当放大倍数很大时，测量往往会有较大的不确定性。量尺寸即使误差一个像素，也误差了接近零点几纳米，而现在场发射电镜的分辨率都在1.0nm左右，这样的误差是不可接受的。
② 有效放大率法
为了解决第一种方法的不足，往往会采用有效放大率法。人眼在明视距离（约25 cm）下的分辨率为0.3 mm，再小人眼则不能分辨。用0.3毫米除以电镜的分辨率即为有效放大率。如电镜分辨率为1.5 nm，其有效放大率就是20万倍。当放大倍数超过有效放大率后，图像虽然视场在缩小，感觉在放大，但是不会出现更多的细节。
图5-8 有效放大率法
采用此种方法进行分辨率测试时，拍摄有效放大率（或者略大倍数）下的金颗粒照片，如果图像清晰，金颗粒边缘锐利可辨，则视为能达到分辨率。
③ 边缘对比度法
在光学仪器的分辨率中往往用调制传递函数（MTF）进行分辨率的测试。MTF是通过测试一系列宽度不同的黑白线对，通过光学成像后的线对的反差情况来判断光学仪器的性能。将黑色线条认为是零亮度，白色线条是100%亮度。理论上来说黑白线对之间的边缘应该很锐利没有过渡。
但是随着线对的宽度越来越窄，经过成像后，白线区域的亮度有所减少，黑色区域的亮度有所增加，也就是说成像中的黑白线对都随着宽度的减小越来越向中间灰色靠拢。直至最后线对极其致密时，黑白线的亮度一样，线对完全不可区分，如图5-9。
图5-9 黑白线对与反差
那么线对密度与对应的反差之间就有一条递减的曲线，此曲线就是MTF曲线，如图5-10。它反应了光学仪器的分辨率和反差性能。此外，黑白线对之间过渡区域也随线对的变窄而越来越宽。
图5-10 MTF曲线
在电镜中也同样如此，金颗粒与碳基底的边缘交界处也可看成是一个黑白线对，这个线对的亮度也有一个高斯函数（衍射波理论的要求）的过渡，类似MTF曲线。通常将某两个反差之间对应的距离就作为电镜的分辨率，如图5-11。
图5-11 金颗粒和碳基底之间的反差曲线与分辨率
图5-12 不同反差区间的选取对分辨率的影响
不过各个电镜厂家所选取的作为分辨率标准的反差区间却没有统一，比如TESCAN和蔡司选择25%～75%的区间，FEI选择35%～65%的区间。这会造成同一张图片，不同的厂家会给出不一样的分辨率。
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