电子扫描电镜的测试原理
发表时间：2024-09-04 点击次数：510
电子扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，故被广泛地应用于化学、生物、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。
电子扫描电镜测试原理：
电子枪发射出的电子束经过聚焦后汇聚成点光源；点光源在加速电压下形成高能电子束；高能电子束经由两个电磁透镜被聚焦成直径微小的光点，在透过最后带有扫描线圈的电磁透镜后，电子束以光栅状扫描的方式逐点轰击到样品表面，同时激发出不同深度的电子信号。此时，电子信号会被样品上方不同信号接收器的探头接收，通过放大器同步传送到电脑显示屏，形成实时成像记录。
该产品以其高分辨率、大视场、立体成像以及分析能力出众等优势，成为科研和工业领域常用的仪器。随着技术的不断进步，扫描电镜的性能将更加*越，其应用领域也将持续扩展，为人类深入探索微观奥秘贡献更大力量。
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