电子显微镜通常可分为扫描电子显微镜和透射电子显微镜两类，是材料微观分析的重要工具之一，被广泛应用于材料、化工、医学、生物等各个领域。

        电镜的发展历史

        1924年 波粒二相性理论的提出

        法国物理学家德布罗意指出：一切接近于光速运动的粒子均具有波的性质。人们由此联想是否可利用波长更短的电子波代替可见光成像？

        1926年 磁透镜聚焦理论的提出

        德国学者 H. Busch 提出了运动电子在磁场中的运动理论。他指出：具有轴对称的磁场对电子束具有聚焦作用。这为电子显微镜的发明提供了重要的理论依据。
        1931年 第 一个电子图像的获得

        德国学者Knoll和Ruska首 次获得了放大12倍铜网的电子图像。证明可用电子束和磁透镜进行成像。
        1931-1934年 第 一台透射电镜的诞生

        西门子公司于1939年研制成功世界上第 一台商品透射电镜，分辨率优于 100埃；1954年进一步研制成功Elmiskop I型透射电镜，分辨率优于10埃。

        1939年 第 一台商品透射电镜的问世

        德国学者鲁斯卡等研制成功世界上第 一台透射电子显微镜，至1934年其分辨率达到了500 埃。鲁斯卡因为在电镜光学基础研究及以上贡献获得了1986年诺贝尔物理奖。
        1935年 首 次提出扫描电镜概念

        在透射电镜的基础上, 1935年德国学者诺尔首 次提出了扫描电镜的概念，1952年剑桥大学Oatley等制作了第 一台扫描电镜。
        1965年 第 一台商品扫描电镜

        1965年剑桥大学推出第 一台商品扫描电镜。目前其发展方向是场发射型高分辨扫描电镜和环境扫描电镜。

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