7. 价钱便宜使用普遍的是钨灯丝，以热游离 (Thermionization) 式来发射电子，电子能量散布为 2 eV，钨的功函数约为4.5eV，钨灯丝系一直径约100µm，弯曲成V形的细线，操作温度约2700K，电流密度为1.75A/cm2，在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小，使用寿命约为40~80小时。

8. 六硼化镧(LaB6)灯丝的功函数为2.4eV，较钨丝为低，因此同样的电流密度，使用LaB6只要在1500K即可达到，而且亮度更高，因此使用寿命便比钨丝高出许多，电子能量散布为 1 eV，比钨丝要好。但因LaB6在加热时活性很强，所以需要在较好的真空环境下操作，因此仪器的购置费用较高。

13. 要从极细的钨针尖场发射电子，金属表面需完全干净，无任何外来材料的原子或分子在其表面，即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射，所以场发射电子枪需保持高真空度，来防止钨阴极表面累积原子。由于高真空设备价格很高昂，所以一般除非需要高分辨率SEM，否则较少采用场发射电子枪。

14. 冷场发射式的优点为电子束直径最小，亮度高，因此影像分辨率优。能量散布小，故能改善在低电压操作的效果。为避免针尖被外来气体吸附，而降低场发射电流，并使发射电流不稳定，冷场发射式电子枪需在10-10 torr的真空度下操作，虽然如此，还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing)，以去除所吸附的气体原子。它的另一缺点是发射的总电流小。

18. 由于对真空的要求较高，有些仪器在电子枪及磁透镜部分配备了3组离子泵(ion pump)，在样品室中，配置了2组扩散泵(diffusion pump)，在机体外，以1组机械泵负责粗抽，所以有6组大小不同的真空泵来达成高真空的要求，另外在样品另有以液态氮冷却的冷阱(cold trap)，协助保持样品室的真空度。

因此适当的加速电压调整，才可获得清晰的影像。

40. 适当的工作距离的选择，可以得到好的影像。较短的工作距离，电子讯号接收较佳，可以得到较高的分辨率，但是景深缩短。较长的工作距离，分辨率较差，但是影像景深较长，表面起伏较大的样品可得到较均匀清晰的影像。

46. 由于电子束与样品作用的作用体积(interaction volume)的关系，特征X光的产生和作用体积的大小有关，因此在平面的样品中，EDS或WDS的空间分辨率，受限于作用体积的大小。

相关应用

现在扫描电镜已广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。

材料与器件检测技术中心微区分析平台拥有两台扫描电子显微镜，分别为Thermo Scientific Apreo 2S热场发射扫描电镜与日立HITACHI SU8010冷场发射扫描电镜，除常规SEM测试外，还配有真空转移盒及样品前处理设备，如全自动三离子束切割抛光仪（CP）、离子溅射仪，可满足客户朋友们一站式检测服务，欢迎朋友们咨询预约测试服务。

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