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聚焦纳米观测 赋能科研创新——高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X
发表时间:2025-12-22 点击次数:29 相关产品:
高分辨型电子显微镜
在纳米科技飞速发展的今天,先进纳米结构与材料研究、芯片半导体研发制造等领域对微观观测技术的要求日益严苛,分辨率与稳定性成为制约科研突破与产业升级的关键瓶颈。在此背景下,高分辨场发射扫描电子显微镜SEM5000X应运而生,以优良的成像性能与多方面的技术优化,为科研与制造领域带来观测体验的升级。
作为一款聚焦复杂观测需求的电镜设备,SEM5000X在电子光学镜筒设计上实现了显著突破。通过合理优化镜筒结构,设备综合像差大幅降低30%,成功达成0.5 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV的高分辨率水准。这一核心性能的提升,意味着科研人员与产业工程师能够清晰捕捉到更细微的纳米尺度结构,为材料特性分析、芯片缺陷检测等关键环节提供详实的微观数据支撑,助力突破技术研发的核心难点。
四大核心优势,赋能多场景复杂观测
除了优良的高分辨率,SEM5000X凭借多项核心技术创新,构建多方面的性能优势,从容应对各类复杂观测场景:
其一,优良的分辨率成像,树立观测新标杆。设备稳定实现0.5 nm@15 kV、1.0 nm@1 kV的高分辨成像,无论是高电压下的精细结构观测,还是低电压下的表面敏感样品分析,都能呈现清晰、真实的微观形貌,为科研与生产提供可靠的视觉依据。
其二,双减速技术加持,应对复杂样品挑战。创新采用样品台减速与高压隧道技术组合的双减速方案,有效降低电子束对样品的损伤,同时提升低能电子的探测效率,即便面对绝缘样品、软材料等难观测样品,也能实现高质量成像,有效突破传统电镜的观测局限。
其三,稳定结构设计,保障数据可靠。配备高精度机械优样品台,结合稳定性强的机架减震设计,可根据需求搭配整体罩壳,有效削弱环境振动、电磁干扰等外部因素对观测的影响,确保在高分辨率模式下仍能获得稳定、可重复的观测数据,为实验结果的准确性提供坚实保障。
其四,便捷换样设计,适配产业科研需求。搭载可支持8寸晶圆(直径208 mm)的快速换样仓,缩短样品更换时间,提升检测效果。无论是半导体制造中的批量晶圆检测,还是科研领域的多样品对比分析,都能良好适配,提升工作成效。
匹配核心领域,助力产业科研升级
凭借高分辨率与高稳定性的核心优势,SEM5000X契合先进纳米结构和纳米材料研究、芯片半导体研发制造等核心领域的需求。在纳米材料研究中,它能清晰呈现材料的纳米尺度形貌与结构,助力科研人员深入探究材料特性与应用潜力;在芯片半导体领域,它可实现芯片制程中的精细缺陷检测、结构验证,为芯片研发迭代与量产质量控制提供关键支撑。
SEM5000X的推出,不仅是扫描电子显微镜技术的一次重要进步,更将为纳米科技与半导体产业的创新发展注入有力动力。无论是推动前沿科研的探索边界,还是助力制造业的质量升级,SEM5000X都将成为科研人员与产业工程师的得力伙伴,开启纳米观测的崭新征程。
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