SEM的运行始于电子枪产生的高能电子束。电子束经电磁透镜系统聚焦后，在样品表面进行光栅式扫描。这一过程中，电子束与样品相互作用，激发出多种物理信号，主要包括：

二次电子（SE）：来自样品表层1–10 nm深度，对表面形貌敏感，是获取高分辨率形貌图像的主要信号。

 

背散射电子（BSE）：具有较高能量，其信号强度与样品的平均原子序数相关，可用于区分不同化学成分区域。

 

特征X射线：通过能谱仪（EDS）分析，可实现元素的定性与定量分析。

 

阴ji荧光（CL）：部分材料在电子束激发下会发射可见光，可用于研究其光学性质与晶体缺陷。

 

吸收电流：反映样品的导电性与电子束相互作用强弱。

这些信号经相应探测器捕获与处理，zui终在显示器上形成反映样品微观特征的灰度或伪彩色图像。

 

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