扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。它被广泛地应用于材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等各个研究领域和工业部门。“比如，在材料科学领域，它是非常基础的科研仪器，毫不夸张地说，材料领域70%—80%的文章都要用到扫描电镜提供的信息。”中国科学院上海硅酸盐所研究员、中国电子显微镜学会扫描电镜专业委员会副主任曾毅告诉科技日报记者。

 

中国科学技术大学作品：纳米手机控，JEOL扫描电镜

 

相较于光学显微镜，扫描电镜有以下特点：

①有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；

②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；

③试样制备简单。

 

电镜扫描下的果蝇，纤毛必现

 

经长期市场观察与统计发现，利用扫描电子显微镜观察与拍摄样品时，放大倍率在八千至一万倍以下的平均使用率达到了80－90%，台式扫描电子显微镜正是因应这一市场实际需求而出现的。

而在电子光学这一领域中，日本电子（JEOL）因深得其精髓，所以始终走在国际前列，在定位其台式扫描电镜这一产品时，虽然非常清楚台式扫描电镜是传统扫描电镜的简化，但并没同其它厂家一样将“简化”作简单化的处理（仅保留背散射电子探测器）以追求低成本，而是在同行中率先保留了扫描电镜中的最为常用的、专门用于形貌观察的二次电子探测器，而用于成分观察背散射电子探测器则采取了面积最大化处理，以尽可能的探测更多的背散射电子信号。

 

中国科学技术大学地球与空间科学学院作品：机器·猫，JEOL扫描电镜

 

在操作上，除保留专业人员最为热衷的手动模式，更首创真正的一键操作模式：自动合轴、自动聚焦、自动消像散、自动亮度\对比度等动作一键完成。

在观察方式上，除特别保留了高、低真空模式外，更具有三档束流可选、两档灯丝电流可选的方式，为观察方式的多样性提供了可靠保障,JCM6000独具特色的、无需光学CCD作为补充的低至10倍的纯电子倍率观察，以及35X35mm的样品移动范围，更为从大视野观察样本概貌直至高倍局部观察形貌，提供了连续的、可比对纯电子光学图像，而无需CCD图像与电子光学图像的转换比对。