扫描电镜（SEM）

     自从1965年第 一台商品扫描电镜问世以来，经过40多年的不断改进，扫描电镜的分辨率从第 一台的25nm提高到现在的0.01nm，而且大多数扫描电镜都能与X射线波谱仪、X射线能谱仪等组合，成为一种对表面微观世界能够经行全 面分析的多功能电子显微仪器。

 

       在材料领域中，扫描电镜技术发挥着非常重要的作用，被广泛应用于各种材料的形态结构、界面状况、损伤机制及材料性能预测等方面的研究。利用扫描电镜可以直接研究晶体缺 陷及其产生过程，可以观察金属材料内部原子的集结方式和它们的真实边界，也可以观察在不同条件下边界移动的方式，还可以检查晶体在表面机械加工中引起的损伤和辐射损伤等。

扫描电镜已成为各种科学领域和工业部门广泛应用的有力工具。除了在材料科学中应用广泛，在地学、生物学、医学、冶金、机械加工等领域均大量应用扫描电镜作为研究手段。我们应该了解扫描电镜的工作原理及其应用，并在自己的科学研究中利用好扫描电镜这个工具，对材料进行全 面细致的研究。

 

是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

扫描电镜特点：

 

①、观察试样为不同大小的固体（块状、薄膜、颗粒），并可在真空中直接进行观察。

 

②、试样应具有良好的导电性能，不导电的试样，其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜。

 

③、试样表面一般起伏（凹凸）较大。

 

④、观察方式不同，制样方法有明显区别。

 

⑤、试样制备与加速电压、电子束流、扫描速度（方式）等观察条件的选择有密切关系。

 

上述项目中对试样导电性要求是的条件。在进行扫描电镜观察时，如试样表面不导电或导电性不好，将产生电荷积累和放电，使得入射电子束偏离正常路径，造成图像不清晰乃至无法观察和照相。③试样制备简单。

 

  目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。