然而，还有许多其他的电子与样品表面物质相互作用的产物——这些信号可以提供关于样品的额外信息。在这篇推文中，我们将阐述扫描电镜中的能谱（EDX）是如何工作的

入射电子与样品表面的物质相互作用产生了各种各样的信号，这些信号携带了关于样品的不同信息 。例如，背散射电子产生的图像与原子序数的差异有关; 二次电子给出了形貌细节信息，阴极发光可以提供关于电子结构和材料化学成分的信息; 透射电子可以描述样品的内部结构和晶体学。在扫描电镜中广泛使用的另一种信号是X射线。

SEM中X射线的生成一共有两个步骤。

它取决于原子序数，是每个元素的属性。所以，X射线是每个元素的“指纹”，可以用来识别样品中存在的元素的类型。

 1）将能量转移到原子电子上，使其脱离生成一个空位。

2）空位由更高能量的另一个电子填充，并释放出X射线。

与BSE，SE和TE不同，X射线是电磁辐射，就像光一样，由光子组成。为了检测它们，新的系统使用了硅漂移探测器（SDD）。由于其具有更高的计数率、更好的分辨率和更快的分析能力，都优于传统的Si（Li）探测器。这些探测器被置于一个特定角度，非常接近样品，并且有能力测量X射线的光子能量。探测器与样品之间的立体角越高， X射线检测概率越高，因此获得好的结果的可能性也越大。

此外，EDX可以用于定性（元素的类型）以及定量（样本中每个元素的浓度百分比）的分析。在大多数SEM中，专用软件可以自动识别峰值，并计算检测到的每个元素的原子百分比。EDX技术的另一个优点是，它是一种非破坏性的表征技术，需要很少或不需要样品的制备。

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